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超純水設(shè)備成為夯實半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵力量

時間：2025-03-26

　　2023 年上半年，半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展態(tài)勢良好，半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造業(yè)實現(xiàn)了顯著增長。這一現(xiàn)象表明，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場的綜合實力逐步增強(qiáng)，國產(chǎn)化率持續(xù)提升，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈正不斷趨于完善。

　　超純水作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分，在半導(dǎo)體國產(chǎn)化進(jìn)程中扮演著不可或缺的角色。眾多企業(yè)通過加大研發(fā)投入，不斷提升超純水制備技術(shù)，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。

　　對于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，提升產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本是實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵所在。良率作為衡量半導(dǎo)體制造質(zhì)量的核心指標(biāo)，直接關(guān)系到芯片的量產(chǎn)成本以及企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。在高端晶圓制造領(lǐng)域，微小的良率提升都可能帶來極為可觀的利潤增長。與此同時，成本的不斷攀升嚴(yán)重制約著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。因此，提高良率、控制成本，是半導(dǎo)體企業(yè)實現(xiàn)長遠(yuǎn)發(fā)展的必經(jīng)之路。

　　在半導(dǎo)體企業(yè)追求良率提升與成本降低的過程中，超純水發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。清洗工序是半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對半導(dǎo)體器件的良率有著決定性影響。芯片清洗過程需要使用超純水，這是由于超純水不具備導(dǎo)電性，在清洗元器件時，能夠避免對產(chǎn)品表面造成損傷，防止產(chǎn)生不可逆的影響。相反，如果超純水水質(zhì)不達(dá)標(biāo)，哪怕是微粒子、總有機(jī)碳等某一項指標(biāo)出現(xiàn)偏差，都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元件生產(chǎn)良率的下降。可以說，高純度的超純水是確保芯片良率和生產(chǎn)效率的重要基礎(chǔ)。

　　不少企業(yè)通過提供超純水與循環(huán)再生解決方案及相關(guān)裝備，助力半導(dǎo)體企業(yè)提高良品率和水資源利用效率，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)高效、可持續(xù)發(fā)展，為本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展注入活力。

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